کاربید سیلیکون سبز میکرون برای پرداخت مواد PZT

میکرون کاربید سیلیکون سبز نوعی ساینده غیر فلزی با سختی بالا و استحکام مکانیکی بالا است. می تواند سنگ زنی تهاجمی ایجاد کند. کاربید سیلیکون سبز مزایای زیادی برای آسیاب کردن مواد PZT ( سرامیک پیزوالکتریک ) دارد.

PZT یک ماده سرامیکی کاربردی است که انرژی مکانیکی و انرژی الکتریکی را به یکدیگر تبدیل می کند. آنها به طور گسترده در اپتیک، نیمه هادی ها، ابزار و سایر زمینه ها استفاده می شوند. با این حال، سرامیک ها شکننده هستند و پردازش آنها توسط پیزوالکتریک دشوار است. در مرحله بعدی عملیات سطحی سرامیک های PTZ، از دستگاه پولیش دو طرفه برای آسیاب و صیقل دادن ویفر PZT استفاده می شود. به طور کلی، عملیات سطحی PZT، مانند زبری و سنگ زنی درجه بندی شده، با کاربید سیلیکون سبز 50 میکرون، 40 میکرون، 20 میکرون و 14 میکرون انجام می شود.. پس از زبری، سطح ویفر بدون خراش یکنواخت است و زبری می تواند به 1.2-1.5um برسد. در مرحله پولیش ریز و آسیاب ریز، پودرهای کوراندوم سفید 14 میکرون، 7 میکرون و 5 میکرون برای آسیاب ریز انتخاب می شوند. زبری محصول پس از پرداخت کمتر از 50 نانومتر است.

برای دستیابی به اثر سنگ زنی پرداخت بدون خراش، اندازه ذرات ساینده کاربید سیلیکون سبز باید به شدت کنترل شود. در این شرایط اندازه ذرات باید تا حد امکان یکسان باشد و محدوده اندازه ذرات باریک باشد. اگر ذرات بزرگ وجود داشته باشد، آسیب رساندن به سطح سرامیکی آسان است. اگر ذرات ریز زیادی وجود داشته باشد، راندمان آسیاب را کاهش می دهد. بنابراین، پودر کاربید سیلیکون سبز درجه بندی شده توسط سرریز آب شستشو، ساینده مناسب است.