پودر سیاه SiC 800# برای تجهیزات نیمه هادی – سرامیک سیلیکون کاربید متخلخل
در تجهیزات تولید نیمه هادی، اجزای سرامیکی با کارایی بالا ضروری هستند. به خصوص سرامیک های سیلیکون کاربید اجزای مهمی در تجهیزات کلیدی مانند ماشین های اچینگ، ماشین های لیتوگرافی، ماشین های کاشت یون و غیره هستند. به عنوان مثال، ساکشن کاپ های سنگ زنی و پولیش، ساکشن کاپ های فوتولیتوگرافی، کاپ های مکش بازرسی، فرآیندهای اچینگ و پلت فرم های حرکتی همگی دارای این ویژگی ها هستند. وجود سرامیک کاربید سیلیکون این قطعات سرامیکی کاربید سیلیکون دارای پایداری ساختاری، پایداری حرارتی، مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی و دقت ابعادی بالا هستند. پودر سیلیکون کاربید به عنوان ماده اولیه اصلی برای تولید سرامیک کاربید سیلیکون نیز باید دارای خواص خوب و پایدار باشد. در میان آنها، پودر SiC سیاه 800# برای مکنده های سرامیکی متخلخل کاربید سیلیکون یک کاربرد معمولی است.
با تولید تصفیه شده پودر SiC، خواص فیزیکی و شیمیایی و پایداری اندازه ذرات پیشرفت قابل توجهی داشته است. پودر SiC سیاه و ریز تصفیه شده از غربالگری، شستشوی قلیایی اسیدی و شستشو با آب، برای نیازهای زمینه های با تکنولوژی بالا مانند نیمه هادی ها مناسب تر است. ویژگی های خاص به شرح زیر است:
1. پایداری در دمای بالا.
پودر SiC سیاه نقطه ذوب و پایداری حرارتی بسیار بالایی دارد و به سرامیک های متخلخل اجازه می دهد عملکرد خوبی در محیط های با دمای بالا حفظ کنند.
2. خلوص بالا.
پس از عملیات شیمیایی و شستشو با آب، پودر کاربید سیلیکون سیاه دارای محتوای مغناطیسی کم، محتوای کربن آزاد کم و سیالیت خوب و پراکندگی آسان است.
3. غلظت اندازه ذرات بالا.
قوام بالا در اندازه ذرات، محدوده باریک ذرات پودر، و چگالی بسته بندی بالا. این می تواند چگالی سرامیک های کاربید سیلیکون را بهبود بخشد.
4. خواص مکانیکی عالی.
سیاه SiC دارای سختی، استحکام و مقاومت در برابر فشار عالی است. این می تواند استحکام مکانیکی و مقاومت در برابر سایش سرامیک های متخلخل را افزایش دهد.
5. پایداری شیمیایی قوی.
کاربید سیلیکون سیاه مقاومت به خوردگی خوبی در برابر اسیدها، بازها و اکثر مواد شیمیایی دارد. که می تواند پایداری شیمیایی و مقاومت در برابر خوردگی سرامیک های متخلخل را بهبود بخشد.
6. هدایت حرارتی خوب.
به دلیل رسانایی حرارتی بالای کاربید سیلیکون سیاه، سرامیک های متخلخل می توانند به طور موثرتری گرما را انتقال و پخش کنند.
7. ضریب انبساط حرارتی پایین.
کاربید سیلیکون سیاه ضریب انبساط حرارتی کمتری دارد. این به کاهش تنش حرارتی و آسیب سرامیک متخلخل تحت تغییرات دما کمک می کند.
8. افزایش مقاومت در برابر اکسیداسیون.
SiC سیاه می تواند مقاومت اکسیداسیون سرامیک های متخلخل را بهبود بخشد و عمر مفید آنها را افزایش دهد.
به طور خلاصه، استفاده از کاربید سیلیکون سیاه به عنوان یک ماده افزودنی یا پایه برای سرامیک های متخلخل می تواند به طور قابل توجهی پایداری آن در دمای بالا، خواص مکانیکی، پایداری شیمیایی و خواص مختلف دیگر را بهبود بخشد. این مزایا باعث می شود که آن را به طور گسترده در دمای بالا، فشار بالا و محیط های بسیار خورنده، به ویژه در صنعت تجهیزات نیمه هادی، کاربرد بیشتری داشته باشد.
