ویژگیهای پودر SiC سبز برای صیقل دادن سطح سرامیک AlN
زیرلایه PCB سرامیکی AlN (آلومینیوم نیترید) یک ماده زیرلایه الکترونیکی با کارایی بالا است که از سرامیک نیترید آلومینیوم به عنوان عایق هسته و پایه اتلاف گرما، همراه با لایههای رسانای فلزی (معمولاً مس) برای تشکیل یک برد مدار چاپی (PCB) برای دستگاههای الکترونیکی با قدرت بالا و فرکانس بالا استفاده میکند. پودر SiC سبز برای صیقل دادن سطح سرامیکی AlN میتواند به چقرمگی سطح عالی دست یابد. این پودر انتخاب شده است زیرا به طور همزمان چهار مزیت را برآورده میکند که هیچ ساینده تجاری دیگری نمیتواند به خوبی آنها را داشته باشد:
۱. پنجره به اندازه کافی سخت / به اندازه کافی نرم
Knoop 2 600–2 800 kg mm-2 (≈ 30٪ سختتر از AlN، 12000 مگاپاسکال)، میتواند نیترید را به سرعت آسیاب کند. با این حال، هنوز از سختی الماس کمتر است، بنابراین ترکهای زیرسطحی عمیقی ایجاد نمیکند که رسانایی حرارتی 170–200 W m-1 K AlN را از بین ببرد.
۲. صفحات تیز α-SiC
ذرات بلوکی و تیز به جای شیار زدن، عمل خرد کردن ذرات را انجام میدهند؛ در فشار برابر با آسیاب کارآمد، سرعت حذف مواد چندین برابر Al2O3 سفید است.
۳. لبه شیمیایی خود محدودکننده
لایه نازک SiO2 طبیعی (≈ ۳ نانومتر) که در دوغاب آبی تشکیل میشود، کمی اسیدی است (pH 4-5). این لایه با فیلم تریبو Al2O3 روی AlN کمپلکس تشکیل میدهد و یک ژل نرم Al-O-Si تولید میکند که تماس را روان میکند و از “بیرون کشیدن” دانههای AlN که معمولاً باعث ایجاد حفرههای با ظاهر تخلخل میشوند، جلوگیری میکند.
- مشخصات معمول خریداری شده برای مرحله پیش پرداخت AlN CMP
دانه بندی: GC F360 (D50 26-30 µm) → GC F500 (D50 15-17 µm) → F800 (D50 7-8 µm) → F1000 (D50 4-5 µm)
چگالی ظاهری: 1.42 گرم بر سانتی متر مکعب (شل)
سطح ویژه: 0.9 متر مربع بر گرم (BET)
پتانسیل زتا: -45 میلی ولت در pH 9 (دوغاب پایدار 30 درصد وزنی)
نوع کریستال: 6H α-SiC ≥ 98٪
