پودر سیاه SiC 800# برای تجهیزات نیمه هادی – سرامیک سیلیکون کاربید متخلخل
در تجهیزات تولید نیمه هادی، اجزای سرامیکی با کارایی بالا ضروری هستند. به خصوص سرامیک های سیلیکون کاربید اجزای مهمی در تجهیزات کلیدی مانند ماشین های اچینگ، ماشین های لیتوگرافی، ماشین های کاشت یون و غیره هستند. به عنوان مثال، ساکشن کاپ های سنگ زنی و پولیش، ساکشن کاپ های فوتولیتوگرافی، کاپ های مکش بازرسی، فرآیندهای اچینگ و پلت فرم های حرکتی همگی دارای این ویژگی ها هستند. وجود سرامیک کاربید سیلیکون این قطعات سرامیکی کاربید سیلیکون دارای پایداری ساختاری، پایداری حرارتی، مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی و دقت ابعادی بالا هستند. پودر سیلیکون کاربید به عنوان ماده اولیه اصلی برای تولید سرامیک کاربید سیلیکون نیز باید دارای خواص خوب و پایدار باشد. در میان آنها، پودر SiC سیاه 800# برای مکنده های سرامیکی متخلخل کاربید سیلیکون یک کاربرد معمولی است.